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①透明導電膜

主にタッチパネル向け薄膜付フィルム・ガラス

ITOは薄膜にした際に透明でありながら電気を通すという性質を持つため、これをフィルム上に成膜したものがITOフィルムで、静電容量式/抵抗膜式のタッチパネルや透明膜電極としてディスプレイや光学系の用途に多用されています。

透明導電膜


透明導電膜透明導電膜

ユーザーの要求に合わせ、透明度が高く、低抵抗かつエッチング性に優れた透明導電膜(ITO)としての提案が可能です。また、カラーフィルターや樹脂基板など熱に弱い基板に対して、低温成膜を行い、基板ダメージの低減を図ります。下図のように、膜厚や抵抗値を変化させることでさまざまな用途に応用ができます。


透明導電膜


②電磁波シールド

携帯電話やノート型パソコン等のモバイル製品の小型化に伴い、機器より発するノイズの影響を受けたり与えたりして誤動作、雑音等の原因になっております。そこでモバイル製品のプラスチック筐体内部に「電磁波シールド膜」を形成するとノイズの影響を防ぐことができます

電磁波シールド電磁波シールド

電磁波シールド


③薄膜ソーラーシート

薄膜ソーラーシート

現在の太陽光発電の主流は単結晶シリコン太陽電池や多結晶シリコン太陽電池ですが、それらを構成するシリコンの中で、実際に発電に使われる部分は、実は表面近くのほんの一部でしかありません。原料に使われる高純度シリコンは貴重なものなので、将来的に太陽電池を量産しようとしても思うように供給されない可能性があります。

そこで、作製に必要なシリコンをなるべく節約し、低コストな太陽電池を作る方法が開発されました。それが薄膜シリコン太陽電池です。

結晶シリコン太陽電池は、まずシリコンのインゴットを作り、そこから切り出したウエハーを使いますが薄膜シリコン太陽電池では全く違う方法で基板上に形成した薄いシリコンの膜を使って発電します。



薄膜ソーラーシート


200Wのソーラーパネルを年間40万枚(80,000Kw)製造の場合(製造ライン=1本)
*工程数は単結晶(バルク系)太陽電池製造で【100】工程と仮定して他の種類の工程数を概算算出

太陽電池種類 シェア 特徴 メリット デメリット 工程数 歩留り
結晶系 単結晶シリコン 現状
90%
以上
最も一般的な太陽電池の構造 耐久性・信頼性が抜群/実用レベルで最も高効率 製造工程が複雑 100 80%
多結晶シリコン 最も生産量が多い太陽電池の構造 コストパフォーマンスに優れた太陽電池
現状の主力製品
シリコンなど材料費が年々高騰している 80 80%
HIT ハイブリットシリコン太陽電池(両面発電) 両面で発電できる高い変換効率 材料費が高い 150 65%
多接合太陽電池 トコトン変換効率を追求した太陽電池 軍事用
超高効率
材料費が超高価 - -
薄膜系 薄膜シリコン 現状
10%
以下
少ない材料で大量生産 シリコン材料を節約できる 製造工程で高価な有毒ガスを使用 70 60%
スパッタリング製造法 材料費が約1/1000 新手法による販売 50 ほぼ100%
薄膜CIGS [ナチュラトロン] 歩留りがほぼ100% 実績がない
小回りの利く新素材を使った太陽電池 薄くて省資源
量産しやすい
希少材料のインジウムの確保が難点 70 60%

薄膜ソーラーシート


④薄膜スパッタ技術を応用したICバッテリーについて

ナチュラトロンスパッタ法(薄膜スパッタ技術)を利用して高性能な薄膜充電バッテリー(世界初)の商品化が可能です。

薄膜スパッタ技術を応用したICバッテリーについて


⑤有機ELディスプレイ・照明

有機ELディスプレイ・照明

「有機EL」という言葉を目にする機会が増えています。すでに携帯電話ディスプレイで実用化がスタートし、液晶・プラズマに続く次世代薄型テレビの本命としても期待されています。 そしてこの有機ELはディスプレイだけではなく、照明の分野においても、その革新性の高さに注目が集まっています。

有機ELディスプレイ・照明


有機ELディスプレイ・照明

先進型対向ターゲット式スパッタ装置(ナチュラトロン)は結合エネルギーの低い、かつ低温条件を必要とする有機機能材料への成膜にたいへん有効です。 高密度スパッタプラズマを箱型空間に拘束し、堆積膜表面への高エネルギー種(電子、イオン、反跳粒子)の衝撃を抑制できる原理・構造的な特徴を実現しました。

<IGZO薄膜は有機ELディスプレイ製造のコストダウンにも大きく寄与する。>


有機ELディスプレイ・照明

製造プロセスがアモルファスシリコンTFTと同等で、大型マザーガラスにも対応する。




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